箱式高溫爐采用集成化模塊控制單元，控制度，并設(shè)計(jì)了雙回路控制和雙回路保護(hù)，具備了過(guò)沖、超調(diào)、欠調(diào)、段偶、缺相、超壓、超流、超溫、電流反饋、軟啟動(dòng)等保護(hù)。

　　箱式高溫爐的使用注意事項(xiàng)：

　　1、除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。

　　2、實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無(wú)人繼續(xù)使用，請(qǐng)關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)，高溫爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān)，如：cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請(qǐng)隨手關(guān)掉。

　　3、處理HF時(shí)，請(qǐng)戴手套，如不小心碰到HF時(shí)，立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。

　　4、石英玻璃制品請(qǐng)小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。

　　5、避免吸入從高溫爐或處理槽所冒出之各種氣體。

　　6、旦發(fā)現(xiàn)在高溫爐周?chē)蟹恋K安全之事物時(shí)，要通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。

　　7、請(qǐng)節(jié)約純水用量。破晶片、濾紙、棉花棒……等，請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。

　　8、長(zhǎng)短推桿之前端，在還沒(méi)使用到時(shí)，請(qǐng)朝上以免污染。

　　9、晶片進(jìn)出爐口時(shí)，承接boat的holder，請(qǐng)勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

　　用于熱等靜壓機(jī)的高溫爐，雖然也起燒結(jié)作用，但它不同于般真空或保護(hù)氣氛燒結(jié)爐，它更巧和高效。高溫爐在工作時(shí)是受高壓壓力介質(zhì)所包圍，若要使高溫爐體高效的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，需要解決以下兩個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題。

　?。?）高溫爐構(gòu)造必須能防止?fàn)t內(nèi)外高密度壓力介質(zhì)的有害對(duì)流，并爐溫均勻。

　?。?）般情況下，爐內(nèi)需要有1000℃以上的高溫，而爐外溫度只允許在100℃~200℃左右。這就要求在幾十毫米厚的隔熱層內(nèi)，能使溫度下降千多度。